虽然SF6气体在室温下是一种稳定的物质，但在SF6气体的电弧运动温度下，其氟化程度较高，电弧、火花和电晕放电会产生复杂的SF6分解气体和有毒气体，主要有SF4、SOF2、SOF4、SO2、CO2、H2S、HF等和CF4，这些分解产物大多对环境有害。处理六氟化硫的分解是非常重要的！

不久前，广西电力研究院完成了广西第一个六氟化硫固体降解分析方法实验室的建设。广西电网六氟化硫工程机械电气控制技术的信息科学和故障诊断数据技术已进入一个新的阶段。据悉，六氟化硫固体分解实验室是中国科学院经济发展重点实验室资源管理体系建设的重要组成部分。主要包括电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）及其相关知识的理论基础。ICP的高温（7000K）电离特性与四棒质谱仪灵敏度高、扫描速度快的优点相结合，为生产设备的质量和安全运行提供了保障。该系统可以根据市场分析教学目标，检测六氟化硫固体分解的基本成分，实现六氟化硫电气自动化设备有限公司现场财务内网故障的快速诊断。

sf6器件内部失效是一个复杂的物理化学过程。分解气体种类繁多，气体含量低，稳定性差。它们的种类和含量不仅与失效能量直接相关，而且与失效位置和材料类型、气体含水量、杂质和失效后吸附时间直接相关。除了对SF6固体分解产物进行分析检测外，还需要对设备故障进行综合分析，支持GIS局部放电在线检测，结合超声波定位等技术手段。利用氦离子气相色谱等新技术对sf6气体分解产物进行准确分析，提高故障诊断的准确性。

在sf6固态分解过程中，不同之处在于采用了合适的检测器件进行误差分析，这也是一种很好的测量方法。气体六氟化硫作为绝缘灭弧设备，其六氟化硫及其分解产物按以下四种条件回收或处置。

新产品和绝缘击穿试样的开发；

电气设备维护；

处理电气设备故障；

拆下并更换丢失的电气设备。