湿度是SF6设备产生有毒物质的条件，如果SF6气体的含水量超过规定的含水量，当含水量变化时，会凝结在固体绝缘表面，使表面湿润，设备表面放电电压大大降低。六氟化硫在电弧和电晕作用下分解产生的低氟复合气体，不产生SO2、HF等有害物质，不需要水分子的外部条件，避免了六氟化硫对设备的腐蚀。因此，在向设备注入六氟化硫时，必须采取严格措施防止进水。

开始工作前，测量环境空气的相对湿度。≤80%（即相同温度下空气中的水蒸气密度与饱和水蒸气密度之比的百分比），这是空气含水量极限的准确指示。如果试验失败，应采取措施或在干燥、阳光充足的天气进行填充。

为了及时排放和更换SF6泄漏气体，必须在主叶尖满时打开风机，小心观察空气中SF6含量不超过1000ppm。检查应在开工后的一段时间内进行，水平检查应酌情在线路中间进行。如果SF6气体含量增加或超过标准，应立即对部件进行详细检查，以确定并消除原因。