电子气体是半导体工业的重要原料

电子气体简介

特种电子气体（以下简称特种电子气体）是特种气体的重要分支，是集成电路（IC）、平板显示器（LCD、LED、OLED）、太阳能电池（8360、-0.12、-1.42%）等电子工业生产不可缺少的原材料。

一般来说，半导体制造中使用的气体分为普通气体和特殊气体。其中，普通气体是指供应和使用各种气体的气体，如N2、H2、O2、Ar、He等。特殊气体是指用于半导体制造的化学气体，如膨胀、离子注入、混合、清洗和屏蔽，即气体类别中的电子气体，如SiH4、Ph3、Ash3、B2H6、N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、NH3和高纯度SF6、Bcl3、Bf3、HCl、Cl2，用于集成电路生产，共有30种基本族。正是这些气体通过各种工艺使硅片具有半导体特性，决定了集成电路的性能、集成度和性能。即使某些污染物超过标准，也可能导致严重的质量缺陷。在严重的情况下，不合格气体的扩散会污染整个生产线，甚至使生产完全瘫痪。因此，电子气体是电子制造过程中的关键基础材料，是电子工业的“血液”。

电子气原料主要为基础化工原料，如空分气、低纯度原料气以及石油化工和煤化工生产过程中产生的废气。主要原材料来源广泛，市场供应充足，便于与相关原材料供应商接触。我国大型钢铁企业和化肥企业基本上都配备了空分设备。空分供气量大，价格稳定。在石油化工和煤化工行业，专用电子气体的原料气消耗量占原料气产量的一小部分。一个稳定的基础石油化工产业可以为特种电子气体工业提供足够的原料。“十三五”规划明确了环境保护和工业废气排放目标，上游工业供给充足。由于燃气容器可以长期使用，其在电子燃气成本中所占份额相对较小，价格波动对行业影响不大。

电子气体的分类与应用

各种电子气体广泛应用于电子产品的制造。目前有60多种纯气体和80多种气体混合物。电子气体可分为纯气体、高纯气体和特殊半导体材料气体。特殊材料气体主要用于外延、掺杂、刻蚀等，高纯度气体主要用作稀释气体和载气。

电子气体主要用于半导体、平板显示器、太阳能电池等领域。国内需求80亿元。据中国天然气工业协会统计，2019年国内电子专用气需求将达到80亿元，其中集成电路35亿元，飞机显示器22亿元，太阳能电池8亿元。