高纯六氟化硫在常温常压下为气态，冷却后在一定压力下易液化为液体。随着环境温度的升高，相应的液化压力增大，成为不可液化气体。当温度超过SF6临界温度45.55℃时，用元素法液化。

此外，由于高纯六氟化硫是一种不溶于油的惰性气体，因此混合油易于分离。采用国际先进技术，过滤后的油位已达到与无油系统相当的水平，可以完全去除油。

目前，国内外高纯sf6回收充填设备的回收和贮存主要有两个原则。一是冷冻液化原理：在SF6气体回收过程中，在一定的SF6气体压力下，通过制冷装置将SF6气体的温度降至该压力下饱和蒸汽的温度，SF6气体开始液化为液体，并以液体形式储存。其优点是回收快，液化快。

另一种是高压液化原理，即在回收高纯六氟化硫的过程中，压缩机将SF6气体的压力提高到该温度下的饱和蒸汽压力，SF6气体开始转化为液体并以液体形式储存。

sf6回收净化装置的优点是系统简单，但缺点是系统工作压力高，回收效率低。当SF6气体温度（压缩机压缩的SF6气体温度可达80℃以上）超过45.55℃的临界温度时，不能液化。此时，高温高压sf6气体只有经过一段时间才能转化为液体，直到其温度降至临界温度以下。