高纯气体的常见杂质有哪些?
高纯气体的常见杂质有哪些?
常规杂质：H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O
特殊杂质：颗粒物、油份、金属离子、同位素物质污染、亚稳态物质污染
杂质来源：原料污染、生产工艺副产物、工艺失效污染、过程污染
环境带入：空气组分(O2, N2, Ar, CO2), 水分
生产装置，管路，充装装置带入：水分，金属元素，颗粒物，油份
生产工艺富集
包装污染
残气污染
包装本身带入污染：水分，金属元素，颗粒物
分解聚合污染
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