眼接触：硅烷会刺激眼睛。硅烷分解产生无定型二氧化硅。眼睛接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。

吸入：1.吸入高浓度的硅烷会引起头痛、恶心、头晕并刺激上呼吸道。

     2.硅烷会刺激呼吸系统及粘膜。过度吸入硅烷会引起肺炎和肾病，这是由于存在结晶二氧化硅的原因。

     3.暴露于高浓度气体中还会由于自燃而造成热灼伤。

摄入：摄入不可能成为接触硅烷的途径。

皮肤接触：硅烷会刺激皮肤。硅烷分解产生无定型二氧化硅 。皮肤接触无定型二氧化硅颗粒会引起刺激。

慢性症状：如今不清楚长期暴露于硅烷中对健康的进一步影响。

损害器官：未建立

过度暴露造成的病情恶化 ：有皮肤和呼吸道疾病的人暴露在硅烷及其分解物中会加重病情。

致癌性：未被 NTP、OSHA及IARC列为致癌物。