超纯气体系统过滤器主要用于过滤超纯气体系统中的杂质和污染物。其原理是通过扩散和拦截机制过滤气体中的颗粒。如果超纯气体中存在杂质，

则会降低气体质量，影响气体纯度。

超纯气体是纯度大于99.99%的气体，是高纯度的化学试剂。它主要用于一些科学研究和高新技术的特殊应用。例如，单一的超纯气体，

如氢、氮、氦、硅烷，将用作半导体工业的屏蔽气体和载气，以及高温扩散炉设备的屏蔽气体。此外，许多超纯混合物被用作色谱、质谱和光谱分析的参考气体。

超高纯气体过滤器通常安装在阀门、配件下游和进气前的部分，供气系统内部由于振动效果或者强气流冲击导致金属粒子脱落，容易将粒子污染物带入气体中，

因此需要在用超高纯气体过滤器过滤。超高纯气体过滤器能对超纯气体进行有效精密过滤，可通过多级处理满足工况要求，产品一体化无缝结合无焊接部位，

适用于高压工况下的气体及液体过滤。

由于很多高压气体系统内部压力非常高，因此耐高压超高纯气体过滤器采用３１６ｌ不锈钢材质，具有很强的耐压性，适合多种高压工况系统。

产品体积小，安装方便，与大多数高纯度半导体工艺气体具有良好的兼容性；微纳米颗粒过滤能力保持高流量效率，超小压降。

超纯气体几乎用于半导体工业的所有工艺，器件的质量与超纯气体的纯净度有密切关系。因此，对于超纯气体的过滤净化是要起到重视作用的，

选择一个质量过硬的超纯气体过滤器能够帮助有效去除脱落粒子，保护超纯气体的纯度避免工程损失和损坏。