三氟甲烷在电子产业中的应用
三氟甲烷,化学式为CHF3,也称为氟仿,外观为无色气体状,几乎无气味。三氟甲烷性质稳定,可溶于水,可溶于丙酮、无水乙醚、甲醇等部分有机溶剂,不导电,不可燃烧,但在高温条件下可受热分解,分解产物为有毒氟化氢气体。
三氟甲烷,是一种氟代烷烃(HFC),也可称为HFC-23,由于消耗臭氧潜能值(ODP)为零,可取代氯氟烃(CFC)例如CFC-13用作低温制冷剂、灭火剂。三氟甲烷也可用作超临界萃取溶剂,以及有机合成中间体,用来制取四氟乙烯等产品。在电子产业中,三氟甲烷可用作等离子体化学蚀刻剂,在二氧化硅膜刻蚀方面具有速度快、选择性优等特点。
我国三氟甲烷生产商主要包括,专业气体公司、氟化工企业两大类,三氟甲烷制取的一个重要途径是氟化工行业副产物提纯,是以二氟一氯甲烷R-22(CHClF2)制备过程中的副产物为原料,通过精馏等工艺制得。三氟甲烷虽然不破坏臭氧层,但其全球变暖潜能值(GWP)高,是一种强温室气体。
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