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氖-光刻机至关重要的材料

随着俄乌军事冲突的持续,给全球芯片行业带来巨大冲击,其中影响最大的无疑是光刻机巨头ASML,光刻机用来产生激光的气体主要有(Ar、F、Ne混合;Kr、Ne混合;Ar、Ne混合;Ar、Xe、Ne混合),可以看到无一不包含氖气,氖气对光刻机的品质有着较大影响,因为氖气是光刻气中主要成分,在半导体制程当中,氖气可用于KrF、ArF镭射曝光,在ArF准分子激光器中使用的氩/氟/氖气体中,氖气占激光气体混合物的96%以上。

乌克兰的全球供应份额接近70%,而俄的份额是30%。乌克兰生产氖气的地方在敖德萨和马里乌波尔,早因为战争停止生产了。俄罗斯作为目前唯一能大量出口电子特气的国家,将氖等惰性气体出口限制延长至2022年底,此举被视为针对欧盟制裁措施的重磅反制裁。

乌克兰还不仅是氖气的主要供应商,还是氪气、氙气等惰性气体的供应商,这几种气体都是芯片制造的关键材料,乌克兰供应全球氖气、氪气、氙气等的需求占比分别达到了70%、40%和30%。

所以俄乌交战之后,芯片业炒作又开始严重了,理由就是重要材料氖气要稀缺了。


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