高纯六氟化硫在常温常压下呈气态，装瓶后为高压液体。无色、无臭、无毒、不燃。具有良好的化学稳定性和热稳定性。近年来在许多生产技术领域中,越来越显示出它的重要性。

　　高纯六氟化硫是我国科研、生产等许多部门急需的特种气休,在半导体工业巾用于等离子蚀刻工艺,在光导纤维制造中用作隔离层掺杂剂。还是重要的激光材料,在其它领域也有重要用途。因为良好的绝缘性和灭弧性，气体被广泛应用于电器工业，如断路器、高压开关、高压变压器、高压传输线、互感器等。具体的应用体现在以下几方面。

　　1、高纯六氟化硫由于其化学惰性、无毒性、不燃性和无腐蚀性，广泛用于金属冶炼、大气示踪、电子制造等行业。

　　2、电子级高纯的六氟化硫是一中理想的电子蚀刻剂，大量应用于微电子等技术领域。

　　3、在制冷行业，可使用高纯度六氟化硫作为制冷剂，六氟化硫致冷范围在-45℃-0℃。

　　4、电气工业利用六氟化硫作为高介电强度和良好的灭电弧性能，用作高压开关、大容量变压器、高压电缆、气体绝缘材料等。

　　5、六氟化硫气体还可以作为采矿工业用作反吸附剂，在矿井煤尘中可用于置换氧