六氟化硫气体SF6除在合成过程中产生的杂质外，在气体的充装过程中还可能混入少量的空气、水分、和矿物油等杂质，这些杂质均带有或会产生一定的毒性物质。因此，为保证纯度和质量，对出厂的六氟化硫均制定了质量标准，并要求生产厂家在供货时提供生物试验无毒证明书。

而在日常使用中会导致六氟化硫不纯的因素如下

　　1、电器设备内的SF6气体在高温电弧发生作用时而产生的某些有毒产物。

　　例如：SF6气体在电弧中的分解和与氧的反应：会生成氟化亚硫酰、四氟化硫酰 、氟化硫酰等有毒物质。

　　2、电器设备内的六氟化硫气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产物。 例如：SF6气体分解物与水的继发性反应生成氢氟酸、二氧化硫、硫酸等

　　3、电器设备内的SF6气体及分解物与电极(Cu-W 合金)及金属材料(AL、Cu)反应而生成某些有毒产物。 例如：六氟化硫气体及分解物与电极或其它材料反应： ALF3(固态粉末)ALF3(固态粉末)CuF2(固态粉末) 等固态粉末

　　4、电器设备内的SF6气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板(棒、管)等绝缘件;或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si(CH3)2F2等产物。