SF6气体无毒，化学性质相对稳定，但在电弧和高温下分解生成剧毒硫化物，也可与设备中的电极（铜钨合金）和金属材料（铝、铜等）反应生成其他有毒气体。一旦发生泄漏，将对操作和维护人员构成重大威胁。此外，SF6气体的分解和泄漏将大大降低绝缘和灭弧性能，给电气设备的运行带来隐患。例如，SF6气体分解产物，如四氟化硫（SF4）、二氟化硫（SOF2）和二氟化硫（SO2F2），不仅是有毒气体，而且与设备残余水反应生成腐蚀性氢氟酸（HF），腐蚀电气设备和其他绝缘部件和材料，降低其绝缘性能。因此，有必要对sf6进行在线监测。

部分六氟化硫分解物的性质及危害

HF：溶于水，具有腐蚀性，可与Al₂O₃反应，刺激呼吸道，伤害皮肤

SO2 ：与水反应生成H₂SO₃危害肺部

SF2：易溶于水，与Al₂O₃反应，刺激呼吸道，伤害皮肤

S2F10：不水解，300℃热解导致肺水肿

SOF2：不易水解，与AL2D3反应导致肺水肿

SOF4：可水解，伤害肺部

SO2F2：不水解，400℃以上仍稳定，导致肺出血

OF2：不水解，稍溶于水，伤害肺部