如果六氟化硫的含水率超过预期值，当其湿度变化时，会凝结在固体绝缘表面，使表面变湿，从而使设备表面的放电电压大大降低。在没有水分子的情况下，由六氟化硫气体在电弧和电晕作用下分解产生的低氟化物气体不会产生SO2、HF等有害物质，从而防止设备腐蚀。因此，在加注SF6气体时，必须采取严格措施防止湿气进入设备。

填筑前，现场周围环境空气的相对湿度应确定为：≤80%（即相同温度下空气中水蒸气与饱和水蒸气密度比的百分比）是限制空气含水量的具体指标。如果测量结果不令人满意，则应在干燥、阳光充足的天气下进行测量或填充。

为快速排出和更换SF6泄漏气体，应在主端充满且空气中SF6含量不超过1000ppm时启动风机。检查应在工程开始后的规定时间内进行，必要时应在中期进行。当SF6气体含量增加或超过标准时，应立即对部件进行详细检查，以确定原因并予以消除。