四氟化碳的特点

1、在常温常压下为无色无臭有轻微醚味的气体。空气中不燃烧，是比较稳定的无毒物质。但是在高温时，或与可燃气体一同燃烧时，分解出有毒的氟化物。在1000℃以上能与二氧化碳形成羰基氟。微溶于水，在25℃，101.325kPa时，水中溶解度为0.0015%(重量)。有轻微的水解作用。

2、在化学领域，四氟化碳（卤代烃）也可被视为无机化合物。四氟化碳无色、无味、不易燃，化学稳定性好。它具有良好的氧溶解度，相当于空气中的氧含量。因此，即使器官充满了四氟化碳，它们也不会缺氧。

3、四氟化碳为非腐蚀性气体，所有通用材料如钢、不锈钢、铜、青铜，铝等金属材料都可以使用，但是含镁大于2%的合金不能用。在高温，一些金属起加速CF4分解的催化作用。按其催化作用增长的次序由小到大地排列则如下：因科镍合金、奥氏体不锈钢、镍、钢、铝、铜、青铜、黄铜、银。

四氟化碳的应用

1、四氟化碳是目前国内最大的等离子体刻蚀气体。微电子工业。它的高纯度气体以及高纯度四氟化碳气体和高纯度氧气的混合物，可广泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷化硅玻璃和钨膜材料的蚀刻。对于硅和二氧化硅体系，在用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45:1的选择性，这对于在多晶硅光栅上刻蚀二氧化硅薄膜非常有用。

2、广泛应用于电子元器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用

3、由于化学稳定性极强，CF4还被用于金属冶炼和塑料行业等。

4、四氟化碳的溶氧性很好，因此它们已被用于超深潜水实验，以取代普通压缩空气。